최수진,차세대 반도체 노광장비 ‘우리 기술’ 확보 위한 국회 토론회 개최

이정윤 기자 발행일 2026-01-27 12:21:41 댓글 0
[데일리환경=안상석기자]글로벌 반도체 패권 경쟁 속에서 해외 의존도가 절대적인 ‘반도체 노광장비’의 완전한 국산화와 차세대 원천기술 확보 전략을 논의하기 위한 '글로벌 반도체 기술 경쟁력 강화를 위한 X선 간섭 노광장비 핵심기술 개발 토론회'가 1월 27일 오전 10시, 국회 의원회관 제8간담회의실에서 성황리에 개최됐다.


 이번 토론회는 국회 과학기술정보방송통신위원회 소속 최수진 의원(국민의힘)이 주최하고 한국기계연구원이 후원했으며, ‘극자외선(EUV)의 한계를 넘어: X선 간섭 노광장비 기술 개발 방안’을 주제로 진행됐다. 이는 ASML 등 소수 글로벌 기업이 독점하고 있는 노광장비 시장에서, 대한민국이 단순 추격자를 넘어 ‘순수 국내 기술’로 차세대 시장을 선도하는 ‘퍼스트 무버’로 도약하기 위한 구체적 실행 전략을 모색하는 자리였다.

 


최수진 의원은 개회사를 통해 “반도체 생산 세계 1위라는 위상도 핵심 소부장(소재·부품·장비) 기술이 남의 것이라면 사상누각에 불과하다”며, “ASML 같은 ‘수퍼 을’ 기업들이 시장을 장악한 상황에서, 우리만의 독자적인 국산 노광 기술을 확보하는 것은 단순한 산업 발전을 넘어 국가 안보와 직결된 생존의 문제”라고 강조했다.

 

이날 행사를 후원한 류석현 한국기계연구원 원장은 환영사에서 “기존 미세공정의 한계를 극복할 X선 간섭 리소그래피 기술은 차세대 반도체 제조의 핵심”이라며, “이 기술이 대한민국의 독자적 경쟁력이 될 수 있도록 기계연구원의 연구 역량을 집중하겠다”고 약속했다.



발제자로 나선 이재종 한국기계연구원 연구위원은 ‘극자외선 한계 극복 X선 간섭 노광장비 핵심기술 개발 방안’을 주제로 발표했다. 이 위원은 “현재 반도체 노광장비 시장의 90% 이상을 네덜란드와 일본의 3개 사가 독점하고 있다”고 지적하며, “EUV(극자외선) 이후의 시대를 대비하기 위해서는 더 미세하고 경제적인 ‘한국형 X선 노광장비’ 기술을 선점해야 하며, 이를 위해 출연연과 기업이 연계된 실증 연구가 시급하다”고 설명했다.

 

이어진 패널토론에서는 조상준 한국표면분석학회 회장을 좌장으로 ▲국산 원천기술 확보를 위한 R&D 지원 ▲테스트베드 구축 ▲산학연 협력 생태계 조성 방안 등이 집중 논의됐다.

 

박진석 오로스테크놀로지 전무는 “기업 입장에서는 힘들게 개발한 국산 장비를 실제 라인에서 검증할 수 있는 테스트베드가 절실하다”며 수요 기업 연계형 R&D의 중요성을 피력했고, 신현준 충북대 교수는 “기초 물리 연구부터 응용 장비 개발까지 이어지는 인력 양성 로드맵이 있어야 기술 국산화가 완성된다”고 제언했다. 김형근 한국전자기술연구원 단장 역시 “소재·부품 기술과 장비 기술이 함께 성장하는 생태계가 필수적”이라고 강조했다.

이에 이상현 과기정통부 원천기술과 사무관은 “현장의 목소리를 반영해 예산 확보와 제도적 지원책을 촘촘히 마련하겠다”고 답했다.

 

최수진 의원은 마무리 발언을 통해 “반도체가 우리 산업의 쌀이라면, 반도체 핵심 장비는 식량 생산을 위한 필수 농기계와 같다”며, “오늘 논의된 X선 간섭 노광장비 기술이 실험실을 넘어 ‘메이드 인 코리아’ 기술로 산업 현장에 뿌리내릴 수 있도록, 국회 차원에서 관련 예산 확보와 R&D 지원 정책 수립에 앞장서겠다”고 밝혔다.

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